Die palladiumbeschichteten Substrate sind als Ø 4"/100mm Silizium-Wafer und als Mikroskop-Objektträger erhältlich, beschichtet mit 100nm reinem Palladium (99,95%). Palladium hat eine hohe Wasserstoffadsorptionskapazität, was es zu einem hervorragenden Material für Wasserstoff-Sensor- und -Speicheranwendungen macht. Weitere Anwendungen sind medizinische Instrumente, Zahnmedizin, Nanotechnologie, Dünnschichtforschung, elektrische Kontakte und Schmuck. Zwischen dem Substrat und der Pd-Beschichtung wird eine Haftschicht aus Titan verwendet. Sowohl die Ti- als auch die Pd-Beschichtung werden in einem speziellen Hochvakuum-Beschichtungssystem mit einer Elektronenstrahlquelle abgeschieden. Die Palladiumbeschichtung ist nicht atomar flach; es gibt Höhenunterschiede im nm-Bereich. Zum Schutz werden die Wafer in Wafer-Transportboxen und die Objektträger in Objektträgerschachtel verpackt.
Spezifikationen der Nano-Tec Palladiumbeschichteten Silizium Wafer und Objektträger:
Palladium Beschichtung |
100 nm Pd (99,95% Reinheit) |
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Titanium Adhäsionsfilm |
5 nm Ti (99,99% Reinheit) |
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Oberflächerauheit |
Einige nm |
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Substrate |
Silizium Wafer |
Mikroskop Objektträger |
Substrat- Größe |
Ø 4” / 100 mm |
75 x 25 mm |
Substrat-Dicke |
525 µm (+/- 20 µm |
1 mm |
Substrat-Material |
P (Boron) - <100> - 1-30 Ohm/cm |
Borofloat 33 – Borosilikat Glas |
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