EM-Tec 108 Sputter-Beschichtungsanlage für Tisch-REMs
Kompaktes, schnelles, einfach zu bedienendes und kostengünstiges Sputter-Coater-System

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• EM-Tec 108 Sputter-Beschichtungsanlage und Pumpe für Tisch-REMs   
  • EM-Tec 108 REM Sputter Coater System für Tisch-REM.
    Komplett mit Cressington 108manual Sputter Coater, Value VRI-4 Rotations-Vakuumpumpe,
    Metall KF16 Vakuum-Bauteile, Ölnebelfilter und Gold Target. 230V/50Hz.
  • Cressington 108manual Sputter Coater, 230V/50Hz (ohne Pumpe)
  • Value VRI-4 doppelstufige Rotationsvakuumpumpe 4m3/hr, KF16, 230V/50Hz Komplett mit Edelstahl Vakuumanschlüsse, Vakuumöl; und Ölnebelfilter Für Cressington 108manual Sputter Coater wenn Luft benüzt wird.

       

Das EM-Tec 108 Sputter-Beschichtungssystem ist eine kompakte und kostengünstige Lösung für die Goldbeschichtung von nichtleitenden Proben für Tisch-REMs. Die meisten Tisch-REMs sind einfach zu bedienen und mit den wichtigsten Funktionen ausgestattet. Sie werden größtenteils für niedrige bis mittlere Vergrößerungen verwendet und erfordern nur eine minimale Bedienerschulung. Obwohl einige Tisch-REMs auch mit nicht leitenden Proben zurechtkommen, verbessert sich die Bildqualität erheblich, wenn nichtleitende Proben mit Gold oder Platin beschichtet werden. Für das Tisch-REM und das Standard-REM, die im mittleren Vergrößerungsbereich eingesetzt werden, wurde ein spezielles EM-Tec 108 Sputter-Coater-System konfiguriert. Bei dieser Konfiguration wird Luft als Prozessgas verwendet, so dass kein Argon erforderlich ist. Die Verwendung von Luft macht den Betrieb einfacher und schneller. Das EM-Tec 108 Sputter-Coater-System umfasst das manuelle Cressington 108 Sputter-Beschichtungsgerät, die Value VRI-4 zweistufige Rotationsvakuumpumpe, alle Metall-Vakuumverbindungen, Ölnebelfilter und ein Gold Sputter-Target. Der Druck kann auf ein gewünschtes Vakuumniveau eingestellt werden. Timer und Sputterstrom können so eingestellt werden, dass die gewünschte Schichtdicke erreicht wird.

Der Sputterprozess:
Der Sputterprozess umfasst die folgenden Schritte und dauert nur etwa 2 bis 3 Minuten:

• Probe laden
• Sputter Coater einschalten
• Warten, bis das Vakuum erreicht ist und Beschichtung starten
• Probe beschichten, normalerweise 30-90 Sekunden
• Mit dem Entlüftungsventil auf der oberen Platte entlüften
• Probe entfernen und mit dem REM abbilden

Das Sputter-Beschichtungssystem EM-Tec 108 für das Tisch-REM bietet folgende Merkmale:

• Kompaktes, kostengünstiges und komplettes System für die Sputterbeschichtung
• Einfach zu bedienende, aber einstellbare Vakuum-, Zeit- und Stromeinstellungen
• Extrem schnelle Zykluszeiten, typischerweise 2-3 Minuten
• Verwendet entweder Platin- oder Goldtargets
• Kein Argon erforderlich, verwendet Luft als Sputtergas
• Probentisch kompatibel mit Pin Stubs, JEOL und Hitachi Stubs

Spezifikationen des Sputter-Beschichtungssystems EM-Tec 108 für Tisch-REMs:

EM-Tec 108 REM Sputter Coater System für Tisch-REM. Komplett mit Cressington 108manual Sputter Coater, Value VRI-4 Rotations-Vakuumpumpe, Metall KF16 Vakuum-Bauteile, Ölnebelfilter und Gold Target. 230V/50Hz. Artikel # Beschreibung Anfrage 19-010120 EM-Tec 108 REM Sputter Coater System für Tisch-REM. Komplett mit Cressington 108manual Sputter Coater, Value VRI-4 Rotations-Vakuumpumpe, Metall KF16 Vakuum-Bauteile, Ölnebelfilter und Gold Target. 230V/50Hz.

Cressington 108manual Sputter Coater, 230V/50Hz (ohne Pumpe) Artikel # Beschreibung Anfrage 19-010100 Cressington 108manual Sputter Coater, 230V/50Hz (ohne Pumpe) inklusive Gold Target Ø57 x 0.1mm Dicke

Value VRI-4 doppelstufige Rotationsvakuumpumpe 4m3/hr, KF16, 230V/50Hz Komplett mit Edelstahl Vakuumanschlüsse, Vakuumöl; und Ölnebelfilter Für Cressington 108manual Sputter Coater wenn Luft benüzt wird. Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage 19-010480 Value VRI-4 doppelstufige Rotationsvakuumpumpe 4m3/hr, KF16, 230V/50Hz Komplett mit Edelstahl Vakuumanschlüsse, Vkuumöl; und Ölnebelfilter Für Cressington 108manual Sputter Coater wenn Luft benüzt wird. Qty: Stück €895,00