EBSD-3D-Probenhalter für FEI / Thermo DualBeam REM-FIB-Systeme


Analyse von Cross-Sections
Analyse von Cross-Sections mit FEI thermo DualBeam Systeme   
A: Einbau B:FIB-Bearbeitung C: : EBSD-Aufnahme
Analyse von Probenoberflächen
Analyse von Probenoberflächen mit FEI thermo DualBeam Systeme
A: Einbau B: FIB-Bearbeitung C: : EBSD-Aufnahme

Einleitung

Der EBSD-3D-Probenhalter für FEI / Thermo DualBeam REM-FIB-Systeme ermöglicht FIB-Probenbearbeitung mit direkter EBSD-Datengewinnung der gleichen Stelle. Mehrmaliges Drehen der Probe um 180 Grad zwischen Milling- und EBSD-Mapping-Position ermöglicht die Gewinnung von Daten zur Erstellung eines 3D-EDSD-Mappings. Zum Einsatz dieses Probenhalters werden FEI EBS3-Software und FEI / Thermo DualBeam REM-FIB-Systeme benötigt.
Der EBSD-3D-Probenhalter kann zur Analyse der Oberfläche oder Cross-Secstion einer Probe eingesetzt werden. Die Winkel auf dem EBSD-3D-Halter sind  54° (kürze Seite) und 36°  (lange Seite).  Der Probenhalter hat ein M6 Feingewinde, das in der Mitte des Probentisches eingeschraubt wird.  Der Probentisch soll auf 16° Kippung eingestellt werden.

  • Für die Analyse von Cross-Sections werden die Proben auf der kurzen Seite angebracht. Mit 16° Vorkippung ist die Probe auf 52° (36° + 16°) gekippt. Die Cross-Section ist jetzt senkrecht zur FIB-Säule. Wird der EBSD-3D-Halter um 180° gedreht, befindet sich die gerade bearbeitete Cross-Section in 70° Kippung (54° + 16°) für die EDSD-Datengewinnung.
  • Bei der Analyse von Probenoberflächen, werden die Proben auf der langen Seite angebracht. Mit 16° Vorkippung ist die Probe auf 52° (36° + 16°) gekippt. Die Probenoberfläche befindet sich jetzt senkrecht zur FIB-Säule. Wird der EBSD-3D-Halter um 180° gedreht, befindet sich die gerade bearbeitete Cross-Section in 70° Kippung (54° + 16°) für die EDSD-Datengewinnung.

Gefertigt aus vakuumfestem Aluminium.  Hergestellt im Zusammenarbeit mit FEI /Thermo EBS3-Anwendern.

 

 

 

 

 

 

 

Bestellinformationen zu EBSD-3D Probenhalter für FEI / Thermo DualBeam Systeme

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EBSD-3D Probenhalter fuer FEI / Thermo DualBeam Systeme, ALuminium, M6 Fein-Gewinde EBSD-3D Probenhalter fuer FEI / Thermo DualBeam Systeme, ALuminium, M6 Fein-Gewinde
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