KPFM- und EFM- Prüfmuster
Abwechselnde Gold- und Aluminiumlinien mit Lücken

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• KPFM- und EFM- Prüfmuster  
  • KPFM und EFM Test-Probe mit Al und Au Linienanordnung, montiert auf 15 mm AFM-Scheibe

Das KPFM- und EFM-Prüfmuster wurde speziell für die Prüfung der Leistung der Kelvin-Probe-Kraftmikroskopie und der elektrostatischen Kraftmikroskopie entwickelt. Dieses praktische Prüfmuster besteht aus Arrays mit abwechselnden Aluminium- und Goldlinien, die auf einem mit Siliziumoxid beschichteten Siliziumsubstrat aufgebracht sind. Es gibt 4 Array-Abstände: 4, 8, 20 und 40 um mit Lücken von 0,5-0,8 um zwischen den Linien. Die Zeilenhöhe beträgt ca. 35 nm.
Die Größe des Siliziumchips beträgt 5x5 mm mit einer Testfläche von 0,8 x 2,5 mm. Die Kupferdrähte sind mit den Al- und Au-Kontaktpads verbunden. Der Siliziumchip ist auf einer Glasscheibe mit 12 mm Durchmesser montiert; die Glasscheibe ist auf einer AFM-Scheibe aus Edelstahl mit 15 mm Durchmesser montiert. Die Gesamthöhe beträgt ca. 1,5 mm.

Merkmale des KPFM- und EFM-Prüfmusters:

• Arrays mit abwechselnden Al- und Au-Linien
• Zeilenabstände von 4, 8, 20 und 40 um mit einer Lücke von 0,5-08 um.
• Die Zeilenhöhe beträgt ca. 35nm
• Besteht aus einem Siliziumchip auf einer Ø12mm Glasscheibe auf einer Ø15mm Metallscheibe mit einer Gesamthöhe von etwa 1,5mm
• Dünne Kupferdrähte sind mit den Al- und Au-Pads verbunden

Spezifikationen des KPFM- und EFM- Prüfmusters

KPFM und EFM Test-Probe mit Al und Au Linienanordnung, montiert auf 15 mm AFM-Scheibe Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage 34-034040 Stück €580,00 Qty: