Objektmikrometer uns Messgitter
Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandards
EM-Tec LAMC-15 großflächiger Vergrößerungsstandard
EM-Tec M-1 und M-10 Rasterkalibrierstandards

Micro-Tec individuelle Koordinatenkalibrierstandards
Ideal bei niedrigen Vergrößerungen, großen Flächen, Mikroskopbühnen und digitalen Bildgewinnungssystemen

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• Micro-Tec individuelle Koordinatenkalibrierstandards  
  • CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
  • CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
  • CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
  • LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, nicht montiert
  • CCS-2.5 Micro-Tec 1 Zoll Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert

Einleitung

Die neuen und innovativen Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards bestehen aus einm ultraflachen, leitenden Siliciumsubstrat mit korrosionsbeständigen Linien aus Chrom. Sie wurden unter Verwendung neuester Halbleiterproduktionsverfahren hergestellt. Für einfache Kalibrierung weisen die Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards einen hohen Bildkontrast auf. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards ist voll NIST rückverfolgbar und wird mit einem Rückverfolgungszertifikat geliefert. Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards sind bestens geeignet für:

• Auflichtmikroskopie
• Stereo-Mikroskope
• Optische Lupen
• REM bei niedriger Vergrößerung
• Digitale Bildgewinnungssysteme
• Messungen in der Qualitätskontrolle

Die Familie der Micro-Tec Koordinatensysteme auf Siliciumbasis für Hellfeldanwendungen besteht aus:

• CCS-1 1 mm Kreuzmaß mit 0,01mm Teilungen
• CCS-5 5mm Kreuzmaß mit 0,01mm Teilungen
• CCS-10 10 mm Kreuzmaß mit 0,01mm Teilungen
• LCS-10 10 mm Linearmaß mit 1,0, 0,1 und 0,01 mm Teilungen
• CCS-2.5 1 Zoll Kreuzmaß mit 0.001 Zoll Teilungen

Die aufgebrachten Linien aus Chrom befinden sich in derselben Fokussierebene wie das Substrat. Dadurch sind die Linien definierter und liefern ein besseres Signal als geätzte Muster. Sie sind zudem unanfälliger gegenüber Schmutzpartikeln in den Mustern.

Generelle Spezifikationen für alle Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards:

Substrat	525 µm dicker, ultraflacher Wafer mit <100> Orientierung
Leitfähigkeit	Sehr gut, 5-10 Ohm Widerstand
Linien	75 nm dicke, 5,0 µm breite Chromlinien
Kennzeichnung	Produkt-ID mit eingeätzter Seriennummer
Befestigung	Nicht montierter Standard
Lieferung	Geliefert in Gel-Pak Box

Spezifikationen der individuellen Micro-Tec Koordinaten-Kalibrierstandards

Artikelnr.	Name	Rastergröße	Einheiten/Einteilung	Größe	Rückverfolgbar	Befestigung
31-T33100	Micro-Tec CCS-1	1 mm Kreuz	0,01 mm	3,5x3,5 mm	Ja, NIST	Optional
31-T33200	Micro-Tec CCS-5	5 mm Kreuz	0,01 mm	6,0x6,0 mm	Ja, NIST
31-T33300	Micro-Tec CCS-10	10 mm Kreuz	0,01 mm	12,0x12,0 mm	Ja, NIST
31-T33400	Micro-Tec LCS-10	10 mm lang	1,0 / 0,1 / 0,01mm	6,0x12,0 mm	Ja, NIST
31-T33500	Micro-Tec CCS-2,5	1 Zoll Kreuz	0,001 Zoll	3,5x3,5 mm	Ja, NIST

 

Eine alternativer Kalibrierstandard ist der MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandardmit Kreuzskale, Kreismustern, quadratischen und sechseckigen Mustern. Er deckt sowohl die Kalibrierung der Vergrößerung als auch die Beurteilung von Bildverzerrungen ab. Erhältlich für Hellfeld- und Dunkelfeldanwendungen.

Bestellinformationen

CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-1 Standard hat eine 1 mm Kreuzskale mit 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 3,5x3,5 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung. Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-1. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 31-T33100-U CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Qty: Stück €49,50 31-T33100-11 CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger Qty: Stück €59,50

CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-5 Standard hat eine 5 mm Kreuzskale mit 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 6x6 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung. Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-5. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 31-T33200-U CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Qty: Stück €97,50 31-T33200-11 CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger Qty: Stück €107,25

CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-10 Standard hat eine 10 mm Kreuzskale mit 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 12x12 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung. Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-10. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 31-T33300-U CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Qty: Stück €179,50 31-T33300-11 CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger Qty: Stück €189,50

LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec LCS-10 Standard ist ein 10 mm Linearmaß 1,0, 0,1 und 0,01 mm Teilung. Von 0 bis 9 mm hat das Linearmaß eine 0,1 mm Teilung, von 9-10 mm eine 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 6x12 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung. Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec LCS-10. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 31-T33400-U LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, nicht montiert Qty: Stück €112,50 31-T33400-11 LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger Qty: Stück €122,50

CCS-2.5 Micro-Tec 1 Zoll Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-2.5 Standard hat eine 1 Zoll Kreuzskale mit 0,001 Zoll Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 3,5x3,5 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung. Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-2.5. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 31-T33500-U CCS-2.5 Micro-Tec 1 inch Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Qty: Stück €49,50 31-T33500-11 CCS-2.5 Micro-Tec 1 inch Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger Qty: Stück €59,50

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