Kimball LaB6 Kathoden für REM und TEM
Höhere Helligkeit, Höhere Stabilität, LaB6 Kathoden mit langer Lebensdauer


Kimball LaB6 cathodes for SEM and TEM
Kimball LaB6 Kathoden für REM und TEM


Einleitung

Die Kimball ES-423E LaB6 Kathoden sind effiziente, robuste und hoch qualitative LaB6 Kathoden. Die LaB6 Standardkathode mit einer 15 µm abgerundeten Spitze besitzt einen Winkel von 90°. Diese Geometrie ermöglicht eine Elektronenquelle höchster Helligkeit bei gleichzeitig exzellenter Langzeitstabilität. Eine spezielle Version mit einem Winkel von 60° und einem kleineren Durchmesser von 6 µm sind für speziell für TEM verfügbar.
Kimball Physics verwendet zur Herstellung der Kathoden sehr reine und hochwertige <100> LaB6-Einzelristalle. Damit ermöglichen diese Kathoden eine Helligkeit des bis zu 10-fachen, verglichen mit Wolframkathoden. Dies ergibt für die Kimball-Emitter höher auflösende und signalstärkere Bilder in LaB6 REM. Außerdem ist die Lebensdauer einer LaB6 Kathode sehr viel länger und in dieser Zeit auch stabiler. Bitte lesen Sie auch dazu "die Elektronen-Quellen-Performance-Tabelle. Die Kimball LaB6-Kathoden verbessern Ihre REM-Ergebnisse in den folgenden Einsatzgebieten:

  • REM für Anwendungen mit kleinen verwendeten Hochspannungen
  • REM Langzeitmessungen
  • TEM Bildgebung und –analyse
  • Elektronenstrahlmikroanalyse (ESMA oder Mikrosonde)
  • Elektronenstrahllithographie

 

Die Kimball LaB6-Kathoden sind verfügbar mit drei Spitzen

Die Kimball LaB6-Kathoden sind verfügbar in drei Varianten:

1 - Die LaB6 Standardkathode mit einer 15 µm abgerundeten Spitze und einen Winkel von 90°
     für Standard REM und Standard TEM Anwendungen.
2 - Lange Lebensdauer, hohe Stabilität LaB6 Kathode mit einer 20 µm abgerundeten Spitze und einen Winkel      von 90° für Mikrosonden und analytische Anwendungen im REM.
3 - Höher Helligkeit LaB6 Kathode mit einer 6 µm abgerundeten Spitze besitzt einen Winkel von 60°
     für TEM Anwendungen.
LaB6 Emitter benötigen ein höheres Vakuum als die normalen Wolframkathoden, welches üblicherweise durch eine extra Ionengetterpumpe an der Elektronenquelle gewährleistet wird. Der dort benötige Mindestdruck beträgt etwa 10-7 mbar bzw. 10-5 Pa.


Aufbau und Eigenschaften der Kimball ES-423E LaB6 EM Kathoden
Kimball ES-423E  EM Kathoden Die Kimball Physics ES-423E (erweiterte Lebensdauer) LaB6 Kathode ist eine hochleistungsfähige, indirekt geheizte thermische Elektronenquelle. Die LaB6 Kathode enthält Kohelstoffstäbe für die Heizung, was in verbesserte Stabilität, erhöhte Zuverlässigkeit und eingebautes LaB6 Kristall resultiert, um die Kontamination der Wehneltzylinder zu reduzieren. Es gibt keinen direkten Heizungsstrom durch das LaB6 Kristall und keine Hochtemperatur-übergänge, wo Strom fließt. Der LaB6 Kristall ist umgeben von einer Kohlenstoffhülse. Das Ergebnis ist eine kompakte Struktur, kompatibel mit fast jedem Wehneltzylinder. Dies hat folgende Vorteile:

  • Passen in REM, TEM, Mikrosonden und Elektronenstrahl-Lithographiesysteme
  • Indirekt geheiztes hochreines LaB6 Kristall, resultiert in niedriger Heizungsstrom
  • Hohe Stabilität, verringert Drift
  • Kohlenstoffhülse um das LaB6 Kristall verringert die Kontamination des Wehneltzylinders
  • Durch den geringen Dampfdruck und hohen Schmelzpunkt von LaB6 wird die Abdampfung von Material verhindert.
  • Hohe Winkelintensität, etwa 10fach verglichen mit W-Kathoden, sogar 20x bei feinerer Spitzen
  • Stabiler Emissionstrom durch seinen wiederstandfähigen und robusten Aufbau. Die Standard Kimball LaB6 Kathoden besitzen eine Stabilität von ca. 3 %/h bei 1550 °C
  • Lange Lebensdauer: Bei 10-7 mbar bzw. 10-5 Pa und stabilen 1550 °C Nutztemperatur wird eine Lebensdauer von 500 bis 2000 h erwartet.
  • Kleinere Elektronenaustrittsarbeit von nur 2,66 eV, im Vergleich zu 4,7 eV bei W

Einzelheiten und Spezifikationen der Kimball ES-423E LaB6 Kathoden finden man in den PDFs: Kimball ES-423E extended life LaB6 cathode specification (Englisch). und Kimball ES-423E extended life LaB6 cathode user information (Englisch).

 

Spezifikationen der Kimball ES-423E EM Kathoden
Bitte nutzen Sie die folgende Übersichtstabelle zur Ermittlung der passenden LaB6 Quelle für Ihr REM, TEM oder Mikrosonde. DieKimball ES-423E EM Kathoden sind erhältlich für Thermo, FEI, Hitachi, JEOL, AmRay, Camscan, ISI, ABT, Topcon, Philips, Tescan, Zeiss, LEO, Leica, und Cambridge Instruments Elektronenmikroskope.

Art

Standard Spitze

Hochstabile Spitze

Feine Spitze

Spitzenform

90° Spitze mit 15µm Abrundung

90° Spitze mit 20µm Abrundung

60° Spitze mit 6µm Abrundung

Helligkeit

10 fache eines W-Emitters
1 x 106 A/cm2.Str

5 fache eines W-Emitters
0.5 x 106 A/cm2.Str

20 fache eines W-Emitters
2 x 106 A/cm2.Str

Sättigung

Einzelner Spot bei 1550°C

Einzelner Spot bei 1550°C

Einzelner Spot bei 1550°C

Crossover

Klein; 7-10µm

Klein; 7-10µm

Klein; 7-10µm

Winkelverteilung

Sharf; 1.6 x 10-2 rad

Sharf; 1.6 x 10-2 rad

Sharf; 1.6 x 10-2 rad

Standzeit

Lang > 500 hrs

Mehr als standard Spitze

Weniger als standard Spitze

Handhabung

Mässig

Einfach

Schwieriger

Stabillität

Hoch, besser 3%/hr

Hoch, besser 3%/hr

Hoch, besser 3%/hr

Vakuum

10-7 mbar oder besser

10-7 mbar oder besser

10-7 mbar oder besser

Austrittsenergie

2,66 eV

2,66 eV

2,66 eV

Anwendung

REM & TEM

Mikrosonde/Analytisches REM

TEM

 

Übersichtstabelle Kimball ES-423E EM Kathoden

Elektronenmikroskop oder Filamenttype

Artikelnr.

Keramik Scheibe mm

Stiftdurchm.  mm

Stiftabstand mm

AEI

14-AE3501

12.0

1.0

6.45

AmRay /AMR (außer 1200 Serie)

14-AM3502

26.0

1.0

5.0

Cambridge Instruments (außer S4-10)

14-AE3501/ 14-AE3521

12.0

1.0

6.45

CamScan mit AEI Umbauten

14-AE3501

12.0

1.0

6.45

FEI TEM und REM

14-FP3503 / 14-FP3563

26.0

1.0

5.0

Hitachi S-Type

14-HI3504 / 14-HI3564

9.8

1.2

2.7

JEOL K-Type – Metallring Standard REM-Tip

14-JL3508

28.0

1.2

8.0

JEOL K-Type – Metallring Spitzer TEM-Tip

14-JL3568

28.0

1.2

8.0

Leica

14-AE3501

12.0

1.0

6.45

LEO 400 und 1400 Serie REM

14-AE3501

12.0

1.0

6.45

LEO1450 (außer AEI Umbauten)

14-ZS3510

19.8

1.0

5.0

LEO TEM

14-ZS3560

19.8

1.0

5.0

Philips REM und TEM (außer XL-30)

14-FP3503 / 14-FP3563

26.0

1.0

5.0

Philips XL-30 SEM

14-AE3501

12.0

1.0

6.45

Tescan

14-TN3509

19.8

1.0

5.0

Thermo REM und TEM

14-FP3503 / 14-FP3563

26.0

1.0

5.0

Zeiss DSM REM und TEM

14-ZS3510 / 14-ZS3560

19.8

1.0

5.0

Zeiss EVO REM

14-AE3501 / 14-AE3521

12.0

1.0

6.45


Elektronen-Quellen-Vergleichs-Tabelle

Die Electron-Source-Performance-Tabelle gibt zusätzliche Informationen bezüglich Leistung und Anforderungen verschiedener Elektronen-Emitter. Wolfram-Kathoden sind weiterhin in den meisten REM und in allen TEM verbaut. Bessere Ergebnisse können mit LaB6-Kathoden erzielt werden.
Die besten Ergebnisse werden mit Schottky oder kalten Feldemissionsquellen erreicht werden.

Emitter Art

Thermisch

Thermisch

Schottky TFE

Kalte FE

Bilder der Kathodenspitzen

Thermionic Wolframe Cathode

Thermionic LaB6 Cathode

chottky TFE ZrO/W (100) Cathode

Cold Fe W (310) cathode

Kathodenmaterial

W

LaB6

ZrO/W (100)

W (310)

Kathodentemperatur (K)

2700

1800

1800

300

Kathodenradius (nm)

60,000

10,000

<1000

<100

Effektive Quellenradius (µm)

25

10

0.015

0.0025

Emissionsstromdichte (A/cm2)

3

30

5300

17,000

Emissionsstrom (µA)

200

80

200

5

Richtstrahlwert (A/cm2.sr.kV)

1x104

1x105

1x107

2x107

Maximum Strahlstrom (nA)

1000

1000

10

0.2

Energiebreite @ Kathode (ev)

0.59

0.4

0.31

0.26

Energiebreite @ Quelleaustritt (eV)

1.5 – 2.5

1.3 – 2.5

0.35 – 0.7

0.3 – 0.7

Kurzzeitstabilität des Strahlstroms (%)

1

1

1

5 – 10

Stabilität des Emissionsstroms (%/h)

0.1

0.2

<0.5

5

Vakuum (hPa/mbar)

<10-5

<10-6

<10-8

<10-10

Lebensdauer der Kathode (h)

100

>1000

>5000

>2000

Regenerieren der Kathode  (h)

Nicht  

Nicht  

Nicht  

6-12

Externe Empfindlichkeit  

Minimal

Niedrig 

Niedrig 

  Hoch

Stabilität 

Standard

Hoch

Sehr hoch

Niedrig

Röntgen Mikro-Analyse

EDS / WDS

EDS / WDS

EDS / WDS

EDS

Additional resources for the Kimball ES-423E extended lifetime LaB6 cathodes:

TSB - Emission - Drift and LaB6 source stability (Englisch)
TSB - Kimball LaB6 cathode operating instructions for Leica Cambridge Instruments SEMs (Englisch)
TSB - Oxygen activation of LaB6 cathodes - The double saturation effect (Englisch)
TSB - Recovery of Emission from Kimball LaB6 following a vacuum dump (Englisch)
TSB - Relationship between LaB6 cathode lifetime and vacuum (Englisch)
TSB - The Kimball LaB6 cathode style 60-6 (Englisch)
TSB- General guidelines for operating Kimball LaB6 cathodes (Englisch)
Data Table - LaB6 thermodynamics (Englisch)
Graph - LaB6 surface recession against brightness (Englisch)
Graph - LaB6 surface recession against temperature (Englisch)


Bestellinformationen für die Kimball ES-423E Standard LaB6 Kathode mit 90° Spitze und 15 µm Abrundung für Standard REM und TEM Anwendungen

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AEI Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für Zeiss EVO, LEO, Leica, CamScan, Cambridge Instruments und Philips XL-30 REM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AEI Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für Zeiss EVO, LEO, Leica, CamScan, Cambridge Instruments und Philips XL-30 REM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-AE3501 Stück €1060,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AmRay Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für alle AMR Leitz/AMR und AmRay REM außer AMR 1200 Serie Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AmRay Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für alle AMR Leitz/AMR und AmRay REM außer AMR 1200 Serie
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-AM3502 Stück €1135,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, FEI/Philips basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für Thermo & FEI TEM/REM und Philips EM200 TEM & PSEM 500 und danach (außer XL-30) Kimball ES-423E LaB6 Kathode, FEI/Philips basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für Thermo & FEI TEM/REM und Philips EM200 TEM & PSEM 500 und danach (außer XL-30)
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-FP3503 Stück €1135,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Hitachi S-Typ Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für Hitachi S-, SU, H- und X-Serie REM und TEM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Hitachi S-Typ Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für Hitachi S-, SU, H- und X-Serie REM und TEM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-HI3504 Stück €1152,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, ISI 2 Pin Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze für ISI / ABT / Topcon REM und TEM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, ISI 2 Pin Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze für ISI / ABT / Topcon REM und TEM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-I23506 Stück €1152,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, JEOL K-Typ basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für REM und TEM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, JEOL K-Typ basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für REM und TEM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-JL3508 Stück €1152,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Tescan Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für Tescan REM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Tescan Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für Tescan REM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-TN3509 Stück €1152,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Zeiss Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für DSM Serie REM, TEM, LEO TEM und LEO 1450 REM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Zeiss Basis, 90° / Ø 15 µm Spitze, für DSM Serie REM, TEM, LEO TEM und LEO 1450 REM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-ZS3510 Stück €1152,00
Qty:

 

Bestellinformationen für die Kimball ES-423E Standard LaB6 Kathode mit 90° Spitze und 20 µm Abrundung für Mikrosonden und analytische REM Anwendungen

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AEI Basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für Zeiss EVO, LEO, Leica, CamScan, Cambridge Instruments und Philips XL-30 REM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AEI Basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für Zeiss EVO, LEO, Leica, CamScan, Cambridge Instruments und Philips XL-30 REM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-AE3521 Stück €1060,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AmRay Basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für alle AMR Leitz/AMR und AmRay REM außer AMR 1200 Serie Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AmRay Basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für alle AMR Leitz/AMR und AmRay REM außer AMR 1200 Serie
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-AM3522 Stück €1135,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, FEI/Philips basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für Thermo & FEI REM und Philips PSEM 500 und danach (außer XL-30) Kimball ES-423E LaB6 Kathode, FEI/Philips basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für Thermo & FEI REM und Philips PSEM 500 und danach (außer XL-30)
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-FP3523 Stück €1135,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Hitachi S-Typ Basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für Hitachi S-, SU, H- und X-Serie REM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Hitachi S-Typ Basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für Hitachi S-, SU, H- und X-Serie REM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-HI3524 Stück €1152,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, ISI 2 Pin Basis, 90° / Ø 20 µm Spitze für ISI / ABT / Topcon REM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, ISI 2 Pin Basis, 90° / Ø 20 µm Spitze für ISI / ABT / Topcon REM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-I23526 Stück €1152,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, JEOL K-Typ basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für REM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, JEOL K-Typ basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für REM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-JL3528 Stück €1152,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Tescan basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für Tescan REM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Tescan basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für Tescan REM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-TN3529 Stück €1152,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Zeiss Basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für DSM Serie REM und LEO 1450 REM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Zeiss Basis, 90° / Ø 20 µm Spitze, für DSM Serie REM und LEO 1450 REM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-ZS3520 Stück €1152,00
Qty:

 

Bestellinformationen für die Kimball ES-423E Standard LaB6 Kathode mit 60° Spitze und 6 µm Abrundung für TEM Anwendungen (wir kaum im REM benützt)

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AEI Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für Zeiss EVO, LEO, Leica, CamScan, Cambridge Instruments und Philips XL-30 Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AEI Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für Zeiss EVO, LEO, Leica, CamScan, Cambridge Instruments und Philips XL-30
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-AE3561 Stück €1080,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AmRay Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für AMR Leitz/AMR und AmRay außer AMR 1200 Serie Kimball ES-423E LaB6 Kathode, AmRay Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für AMR Leitz/AMR und AmRay außer AMR 1200 Serie
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-AM3562 Stück €1155,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, FEI/Philips basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für Thermo & FEI TEM und Philips EM200 TEM und danach Kimball ES-423E LaB6 Kathode, FEI/Philips basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für Thermo & FEI TEM und Philips EM200 TEM und danach
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-FP3563 Stück €1155,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Hitachi S-Typ Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für Hitachi TEM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Hitachi S-Typ Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für Hitachi TEM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-HI3564 Stück €1172,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, ISI 2 Pin Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze für ABT / Topcon TEM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, ISI 2 Pin Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze für ABT / Topcon TEM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-I23566 Stück €1172,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, JEOL K-Typ basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für TEM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, JEOL K-Typ basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für TEM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-JL3568 Stück €1172,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Tescan Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für Tescan Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Tescan Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für Tescan
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-TN3569 Stück €1172,00
Qty:

 

Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Zeiss Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für Zeiss TEM & LEO TEM Kimball ES-423E LaB6 Kathode, Zeiss Basis, 60° / Ø 6 µm Spitze, für Zeiss TEM & LEO TEM
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#14-ZS3560 Stück €1172,00
Qty:

 



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