EM-Tec MCS Serie, Kalibrierstandards für Vergrößerungen
EM-Tec LAMC-15 Grossflächige Vergrößerungstandard
EM-Tec Schachbrett Kalibrier-Standard

EM-Tec MCS X-Y Serie, Kalibrierstandards für Vergrößerungen
Bidirektionales X-Y REM-Kalibrierungs-Standard mit Linien von 2,5 mm bis 1 um oder 100 nm

•                                                     
• EM-Tec MCS X-Y Serie, Kalibrierstandards für Vergrößerungen  
  • EM-Tec MCS-1TR-XY verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung
  • EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung
  • EM-Tec MCS-0.1TR-XY nachverfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung
  • EM-Tec MCS-0.1CF-XY zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung

Einleitung

Die Kalibrierstandards der EM-Tec MCS X-Y-Serie bieten den gleichen Kalibrierbereich und die gleiche MEMS-Fertigungstechnologie wie die Vergrößerungskalibrierstandards der EM-Tec MCS-Serie. Diese voll ausgestatteten bidirektionalen Kalibrierungs-Standards bieten angrenzende Kalibrierungsmuster sowohl in X- als auch in Y-Richtung. Sie sind ideal für die Vergrößerungskalibrierung oder kritische Dimensionsmessungen in Tisch-REM, Standard-REM, FEREM, FIB, Auger, XPS, SIMS und Auflichtmikroskopsystemen. Es werden zwei Varianten an Em-Tec MCS X-Y Kalibrierstandards angeboten, beide Standards mit Rückverfolgbarkeitszertifikaten oder optional mit individuellen Kalibrierungszertifikaten.:

• EM-Tec MCS-1 mit einer Skalierung von 2,5 mm bis 1 µm; ideal für Tabletop REM und kompakte REM, für 10x bis 20,000x Vergrößerung. Angeboten werden verfolgbare und zertifizierte Versionen.
• EM-Tec MCS-0.1 mit einer Skalierung von 2,5 mm bis 100 nm; ideal für REM, FE-REM und FIB Systeme, für 10x bis 200,000 Vergrößerung. Angeboten werden verfolgbare und zertifizierte Versionen.

Die Skalierungen der EM-Tec MCS-X-Y Serie wurden mit moderner MEMS Fertigungstechnik hergestellt, sehr kontrastreiche Ablagerungslinien aus Chrom für die großen Linien und Gold auf Chrom für die kleineren Linien unter 2,5 µm. Die Goldablagerungen ermöglichen einen optimalen Signal-Rausch-Verhältnis für die Kalibrierung. Vorteile der EM-Tec MCS Serie sind:

• Einzigartige Präzision über den gesamten Kalibrierbereich
• Alle Skalen auf einer ultraflachen Ebene
• Metall auf Silizium mit hervorragendem Signal-Rausch-Verhältnis
• Große Bandbreite an Skalen für akkurate Kalibrierung von niedrigen, mittleren und hohen Vergrößerungen
• Kompatibel mit SE und BSE Abbildungen
• Voll leitfähige Materialien
• Einfache Konvertierung der metrischen X-Y Skalengrößen
• Können mit Plasmacleaner gereinigt werden
• Alle NIST verfolgbar oder optional zertifiziert

Der EM-Tec MCS-0.1 XY Kalibrierstandard ist ein hervorragender Ersatz für den nicht mehr gefertigten SIRA Kalibrierstandard (der lediglich 0,51 und 0,463 µm Skalen aufwies) mit zusätzlichen Vorteilen. Zu den SIRA Standards kompatible Skalengrößen sind 50 µm (5x 10 µm) und 0,5 µm (500 nm).

Spezifikationen der EM-Tec MCS X-Y Serie Vergrößerungsstandards

Untergrund	525 µm dicker, mit Bor dotierter, ultraflacher Wafer mit <100> Ausrichtung
Leitfähigkeit	Sehr gut, 5-10 Ohm Leitungswiderstand
Größe	2,5 x 2,5 mm
Chip Größe	4 x 4 mm (nicht montiert)
Skalen MCS-1	2,5 / 1,0 / 0,5 mm 250 / 100 / 10 / 5 / 2,5 / 1 µm
Skalen MCS-0.1	zusätzlich 500 / 250 / 100 nm
Materialeigenschaft	50 nm Chrom bei 2,5 mm bis 2,5 µm 50 nm Gold auf 20 nm Chrom bei 1 µm bis 100 nm
Rückverfolgbare Abweichung	0,2% oder besser
Zertifizierte Abweichung	0.03%
Rückverfolgbare Messunsicherheit	0.7% oder besser
Zertifizierte Messunsicherheit	0.09%
Rückverfolgbarkeit	Wafer Level NIST verfolgar, durchschnittliche Daten auf jedem Produktionswafer
Zertifizierung	Optional, jeder zertifizierte EM-Tec MCS Standard ist individuell kalibriert gegen einen NIST bemessenen Standard
Applikationen	REM, FE-REM, FIB, Auger, XPS, SIMS und Auflichtmikroskop
Identifikation	Produkt-ID mit eingeätzter Seriennummer
Befestigung	Verfügbar auf gängige Probenteller
Auslieferung	Nicht montiert: verpackt in Gel-Pack Box

Vollständige Liste der erhältlichen Probenteller für Kalibrierstandards und Testproben
Technisches Bulletins: EM-Tec MCS-1 XY und MCS-0.1 XY Vergrößerungsstandards (Englisch)



Bestellangaben zu EM-Tec MCS X-Y Serie, Kalibrierstandards für Vergrößerungen

EM-Tec MCS-1TR-XY verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung Der EM-Tec MCS-1-XY Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von Tabletop REM, Auflichtmikroskopen, kompakten REM und Standard REM für niedrige bis mittlere Vergrößerungen. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 20.000x. Helle Skalen aus Chromablagerungen auf ultraflachem, leitendem Silizium. Die Skalengrößen für den MCS-1-XY sind: 2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm und 1 µm in X- und Y-Richtung. Der 31-T31000 EM-Tec MCS-1TR-XY ist verfolgbar auf dem Wafer-Level gegen einen NIST bemessenen Kalibrierstandard. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich. Wir bieten auch eine individuell zertifizierte Version. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 31-T31020-U EM-Tec MCS-1TR-XY verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung, nicht montiert Qty: Stück €119,50 31-T31020-1 EM-Tec MCS-1TR-XY verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller Qty: Stück €129,50 31-T31020-2 EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-direction, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller Qty: Stück €129,50 31-T31020-6 EM-Tec MCS-1TR-XY verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub Qty: Stück €144,50 31-T31020-8 EM-Tec MCS-1TR-XY verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung, auf Ø 15 mm Hitachi Stub Qty: Stück €129,50

EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung Der EM-Tec MCS-1-XY Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von Tabletop REM, Auflichtmikroskopen, kompakten REM und Standard REM für niedrige bis mittlere Vergrößerungen. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 20.000x. Helle Skalen aus Chromablagerungen auf ultraflachem, leitendem Silizium. Die Skalengrößen für den MCS-1-XY sind: 2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm und 1 µm in X- und Y-Richtung. Der 31-T31000 EM-Tec MCS-1CF-XY ist individuell zertifiziert unter Nutzung eines NIST bemessenen Kalibrierstandard. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 31-C31030-U EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, nicht montiert Qty: Stück €895,00 31-C31030-1 EM-Tec MCS-1CF-XY zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobentellerb Qty: Stück €905,00 31-C31030-2 EM-Tec MCS-1CF-XY zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller Qty: Stück €905,00 31-C31030-6 EM-Tec MCS-1CF-XY zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub Qty: Stück €920,00 31-C31030-8 EM-Tec MCS-1CF-XY zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm in X- und Y-Richtung, auf Ø 15 mm Hitachi Stub Qty: Stück €905,00

EM-Tec MCS-0.1TR-XY nachverfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung Der EM-Tec MCS-0.1-XY Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von REM, FE-REM, FIB, Auger und SIMS. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 200.000x. Helle Skalierung aus Chrom auf ultraflachem, leitendem Silizium für Kalibrierung bis 2,5 µm und Gold auf Chrom für Skalierung von 1 µm bis 100 nm in X- und Y-Richtung. Die Metallstreifen auf Silizium erzeugen ein hervorragendes Signal mit hohem Kontrast. Die Skalengrößen für das MCS-0.1-XY sind: 2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, und 100 nm in X- Und Y-Richtung. Das 31-T32000 EM-Tec MCS-0.1TR-XY ist NIST verfolgbar auf dem Wafer Level gegen einen NIST Kalibrierstandard. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich. Gute Alternative zum eingestellten SIRA Kalibrierstandard. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 31-T32040-U EM-Tec MCS-0.1TR-XY verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung, nicht montiert Qty: Stück €587,50 31-T32040-1 EM-Tec MCS-0.1TR-XY verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller Qty: Stück €598,50 31-T32040-2 EM-Tec MCS-0.1TR-XY verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller Qty: Stück €598,50 31-T32040-6 EM-Tec MCS-0.1TR-XY verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub Qty: Stück €614,50 31-T32040-8 EM-Tec MCS-0.1TR-XY verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung, auf Ø 15 mm Hitachi Stub Qty: Stück €598,50

EM-Tec MCS-0.1CF-XY zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung Der EM-Tec MCS-0.1-XY Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von REM, FE-REM, FIB, Auger und SIMS Systeme. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 200.000x. Helle Skalierung aus Chrom auf ultraflachem, leitendem Silizium für Kalibrierung bis 2,5 µm und Gold auf Chrom für Skalierung von 1 µm bis 100 nm. Die Metallstreifen auf Silizium erzeugen ein hervorragendes Signal mit hohem Kontrast. Die Skalengrößen für das MCS-0.1-XY sind: 2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, und 100 nm in X- und Y-Richtung. Das 31-T32000 EM-Tec MCS-0.1CF-XY ist individuell zertifiziert unter Nutzung eines NIST Kalibrierstandards. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich. Sehr gute Alternative zum eingestellten SIRA Kalibrierstandard. Ausgezeichnete Alternative für den eingestellten SIRA-Kalibrierstandard mit einfacher zu verwendenden kompatiblen Größen. Sehe TSB 31-C32000 EM-Tec MCS-0.1CF replacement for SIRA calibration standard. TSB 31-C32000 EM-Tec MCS-0.1CF replacement for SIRA calibration standard Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 31-C32050-U EM-Tec MCS-0.1CF-XY zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung, nicht montiert Qty: Stück €1465,00 31-C32050-1 EM-Tec MCS-0.1CF-XY zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller Qty: Stück €1484,00 31-C32050-2 EM-Tec MCS-0.1CF-XY zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller Qty: Stück €1484,00 31-C32050-6 EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub Qty: Stück €1499,00 31-C32050-8 EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm in X- und Y-Richtung, auf Ø 15 mm Hitachi Stub Qty: Stück €1484,00

© Micro to Nano 2024 Website: www.microtonano.com

Micro to Nano BV Tappersweg 91 2031 ET Haarlem Niederlande

Kontakt - wir sprechen Deutsch Tel:+31 (0)85 2013155 Info: info@microtonano.com Bestellungen: info@microtonano.com Administration: accounting@microtonano.com

KvK-Nr: 90172744 USt-IdNr: NL865230900B01 Bankkonto: 0495516724 IBAN: NL32ABNA0495516724 BIC (SWIFT): ABNANL2AMEL.