EM-Tec EM-Wolfram-Kathoden
EM-Tec EM-Wolfram-Kathoden
Hochqualitative, hochstabile Wolfram-Kathoden für EM
Einleitung
Wolfram-Kathoden werden in Rasterelektronenmikroskopen und Transmissionselektronenmikroskopen aller führenden Marken eingesetzt. Diese hochqualitativen, hochstabilen Wolfram-Kathoden, auch EM-Filaments oder Emitter genannt, sind so gefertigt, dass sie die Spezifikationen der Originalhersteller übertreffen. Für die Kathoden kommen hochqualitative Keramikscheiben zum Einsatz, exakte Stiftkontakte und hochwertiger Wolframdraht. Für die korrekte Form der Wolfram-Kathoden werden Spezialwerkzeuge eingesetzt. Alle EM-Tec Wolfram-Emitter sind präzise angeglichen und im Hochvakuum warmgeglüht, um Spannungen im Material des Filaments zu reduzieren. Dadurch wird optimale Stabilität, maximale Strahlung und längere Lebenszeit erzielt – und damit niedrigere BetriEM-Tec kosten.
- Minimaler Spitzenradius für kohärenten Strahl
- Starres Anbauteil des Filament-Drahtes mit den Stiften für erhöhte Stabilität
- Voll spannungsreduziert für erhöhte Kathodenstandzeit
- Polierte Enden der Kontaktstifte
- Präzise Maße
- Senkung langzeitiger BetriEM-Tec kosten
Allgemeine Tipps zur Verwendung und Handhabung von Wolfram-REM/TEM-Kathoden:
- Wolfram-Kathoden sind empfindlich - gehen Sie vorsichtig damit um und achten Sie darauf, dass beim Auswechseln einer Kathode die Spitze nicht vom Wehnelt-Zylinder berührt wird.
- Stellen Sie die Kathode so ein, dass die Spitze mittig in der Öffnung des Wehnelt-Zylinders sitzt.
- Achten Sie darauf, dass die Wolfram-Kathode nicht übermäßig gesättigt wird. Die Lebensdauer ist länger, wenn die Glühfäden knapp unter der vollen Sättigung betrieben werden. Kontrolieren nach ein paar Tagen; um die Sättigung zu erreichen, wird der Heizstrom über die Lebensdauer reduziert.
- Erhöhen Sie den Heizstrom nach Möglichkeit in kleinen, langsamen Schritten. Dasselbe gilt für das Herunterfahren.
- Wenn möglich, warten Sie mit dem Belüften des REMs, bis die Kathode abgekühlt ist, und belüften Sie vorzugsweise mit trockenem Stickstoff.
Bitte nutzen Sie die folgende Übersichtstabelle zur Ermittlung des korrekten Wolfram-Kathodentyps für Ihr REM, TEM oder Microprobe. Die EM-Tec Wolfram-Kathoden sind erhältlich für TFS, FEI, Hitachi, ISI, JEOL, Philips, Tescan, Zeiss, LEO, Cambridge Instruments, Leica and AmRay Elektronenmikroskope.
Übersichtstabelle Wolfram-Kathoden
| EM-Typ oder Kathodenfassung | Artikelnr. | Keramikscheibe (mm) | Stiftdurchm. (mm) | Stiftabstand (mm) |
AEI |
12.0 | 1.0 | 6.45 | |
| AmRay /AMR (außer 1200 Serie) | 26.0 |
1.0 |
5.0 |
|
| Cambridge Instruments (außer S4-10) | 12.0 | 1.0 | 6.45 | |
| CamScan mit AEI Umbau | 12.0 | 1.0 | 6.45 | |
| CamScan mit Tescan Säule | 19.8 | 1.0 | 5.0 | |
| FEI | 26.0 | 1.0 | 5.0 | |
| Hitachi S-Typ | 9.8 | 1.2 | 2.7 | |
| Hitachi mit Cartridge TM Serie Tabletop 3400N, 3700N, SU1500, SU3500 |
9.8 | 1.2 | 2.7 | |
| ISI /ABT / Topcon 2-Pin | 23.4 | 1.2 | 12.0 | |
| JEOL K-Typ mit Metallring | 28.0 | 1.2 | 8.0 | |
| Leica | 12.0 | 1.0 | 6.45 | |
| LEO 400 und 1400 Serie REM | 12.0 | 1.0 | 6.45 | |
| LEO1450 (außer AEI Umbau) | 19.8 | 1.0 | 5.0 | |
| LEO TEM | 19.8 | 1.0 | 5.0 | |
| Pemtron | 23.4 | 1.2 | 12.0 | |
| Philips V-Loop (PSEM500/EM200 und später) | 26.0 | 1.0 | 5.0 | |
| Tescan | 19.8 | 1.0 | 5.0 | |
| Zeiss DSM und TEM | 19.8 | 1.0 | 5.0 | |
| Zeiss EVO | 12.0 | 1.0 | 6.45 |
Elektronen-Quellen-Vergleichs-Tabelle
Die Electron-Source-Performance-Tabelle gibt zusätzliche Informationen bezüglich Leistung und Anforderungen verschiedener Elektronen-Emitter. Wolfram-Kathoden sind weiterhin in den meisten REM und in allen TEM verbaut. Bessere Ergebnisse können mit LaB6-Kathoden erzielt werden.
Die besten Ergebnisse werden mit Schottky oder kalten Feldemissionsquellen erreicht werden.
Emitter Art |
Thermisch |
Thermisch |
Schottky TFE |
Kalte FE |
Bilder der Kathodenspitzen |
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|
|
|
Kathodenmaterial |
W |
LaB6 |
ZrO/W (100) |
W (310) |
Kathodentemperatur (K) |
2700 |
1800 |
1800 |
300 |
Kathodenradius (nm) |
60,000 |
10,000 |
<1000 |
<100 |
Effektive Quellenradius (µm) |
25 |
10 |
0.015 |
0.0025 |
Emissionsstromdichte (A/cm2) |
3 |
30 |
5300 |
17,000 |
Emissionsstrom (µA) |
200 |
80 |
200 |
5 |
Richtstrahlwert (A/cm2.sr.kV) |
1x104 |
1x105 |
1x107 |
2x107 |
Maximum Strahlstrom (nA) |
1000 |
1000 |
10 |
0.2 |
Energiebreite @ Kathode (ev) |
0.59 |
0.4 |
0.31 |
0.26 |
Energiebreite @ Quelleaustritt (eV) |
1.5 – 2.5 |
1.3 – 2.5 |
0.35 – 0.7 |
0.3 – 0.7 |
Kurzzeitstabilität des Strahlstroms (%) |
1 |
1 |
1 |
5 – 10 |
Stabilität des Emissionsstroms (%/h) |
0.1 |
0.2 |
<0.5 |
5 |
Vakuum (hPa/mbar) |
<10-5 |
<10-6 |
<10-8 |
<10-10 |
Lebensdauer der Kathode (h) |
100 |
>1000 |
>5000 |
>2000 |
Regenerieren der Kathode (h) |
Nicht |
Nicht |
Nicht |
6-12 |
Externe Empfindlichkeit |
Minimal |
Niedrig |
Niedrig |
Hoch |
Stabilität |
Standard |
Hoch |
Sehr hoch |
Niedrig |
Röntgen Mikro-Analyse |
EDS / WDS |
EDS / WDS |
EDS / WDS |
EDS |
Bestellinformationen zu Wolfram-Kathoden
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