Cressington 208HRD Hochauflösende Turbo Sputter Coater
Cressington 108 Vacuum Pump Systeme
Cressington Rot.-Kipp- und Rot.-Kipp.-Planetentische
Cressington MTM-10/20 Schichtdickenmessgeräte
Sputter Targets für Cressington 108 Serie
Verbrauchsmaterial für Cressington Coater, MTM Systeme und Vakuumpumpen
Cressington 208HRD Hochauflösende Turbo Sputter Coater
Hochauflösende, Hochvakuum, Sputter Coater mit Turbopumpe für FE-REM-, Mikrosonden- und EDX/WDX- Anwendungen
Cressington 208HRD Hochauflösende Turbo Sputter Coater
Cressington-208HRD hochauflösungs Turbo Sputter Coater mit R-P-T Probentisch,,
Target-Drehblende, Turbopumpe und MTM-20 Schichtdicken-Kontrollsystem
Der aktualisierte hochauflösende Turbo-Sputter-Coater Cressington 208HRD wurde speziell für die Beschichtung von Proben für die hochauflösende FE-REM-Abbildung und Analyse entwickelt. Dieses kompakte, vielseitige, modulare Turbo-Sputter-Beschichtungssystem lässt sich leicht konfigurieren und bietet echte Lösungen für die optimale Beschichtung schwieriger Proben. FE-REM-Proben benötigen sehr dünne, feinkörnige, gleichmäßige und konforme leitfähige Beschichtungen, um Aufladungseffekte zu eliminieren und den Kontrast für scharfe Bilder zu verbessern. Um die Auswirkungen der Körnung zu minimieren, bietet das Cressington 208HRD eine vollständige Palette von Beschichtungsmaterialien und ermöglicht eine beispiellose Kontrolle der Dicke und der Beschichtungsbedingungen.
Um Aufladungseffekte zu minimieren, ermöglichen der motorisierte Rotations-Planeten-Kipptisch (R-P-T) und die große Auswahl an Argongasdrücken eine präzise Steuerung der Gleichmäßigkeit und Konformität der Beschichtung. Der hochauflösende MTM-20-Dickenregler mit Terminierungseinrichtung ermöglicht eine präzise Kontrolle der Schichtdicke. Beschichtungsmaterialien wie Ir, Cr, Pt/Pd und W ermöglichen dünne Beschichtungen mit einer Korngröße unter 1 nm. Das Cressington 208HRD wird komplett mit einer Blende für die Konditionierung von nicht edelmetallhaltigen Feinkorntargets wie Cr und W geliefert.
19-012080 Motorisierter
Planetengetriebenen-Dreh-Kipptisch (R-P-T)
Cressington 208HRD-150 Vakuumrezipienten mit dem R-P-T Probentisch
Die Cressington 208HRD Vakuumkammer mit dem R-P-T-Tisch kann in verschiedenen Höhen konfiguriert werden. Die Gesamthöhe beträgt 165 mm und besteht aus einer kurzen (Ø150 x 65 mm) Glaskammer, einem 70 mm hohen R-P-T-Tisch in einem Aluminiumkragen und zwei Metall-Abstandsringen von 15 mm. Die teleskopische Auflage der oberen Platte ermöglicht unterschiedliche Höhen. Durch Vergrößerung des Abstands zur Probe kann die Sputterrate verringert werden; dies kann bei sehr dünnen Schichten und/oder rauen Proben wünschenswert sein
Der motorisierte R-P-T-Tisch umfasst 4 Probenhalter, die aus der unten stehenden Liste von Optionen ausgewählt werden können. Die Standard-Probenhalter für den R-P-T-Tisch sind Probenhalter für 6 x Ø12,7 mm Stiftprobenteller. Der Kristallkopf für den MTM-20 Dickenmesser ist am R-P-T-Tisch befestigt.
2. Kammer-Ausstattung
Optional ist eine zweite Kammerausstattung erhältlich, die die Glaskammer Ø150 x 150 mm, einen Metall-Abstandsring und einen statischen Tisch umfasst.
2208HRD Sputter-Kopf mit
Ø 28mm Target und Target-Drehblende
Die Merkmale und Vorteile des hochauflösenden Sputter-Coaters 208HRD sind:
- Komplette, einfach zu bedienende und schnelle Sputterbeschichtungslösung
- Einzigartiger hochauflösender Sputterkopf mit konstanter Stromregelung
- Das Hochvakuumsystem ermöglicht eine große Auswahl an Targetmaterialien
- Inklusive Drehblende für die Targetkonditionierung
- Kompatibel mit Cr, W, Ir, Pt/Pd und vielen anderen Targets
- Gleichmäßige, konsistente, präzise und reproduzierbare Probenbeschichtung
- Präzise Schichtdickenkontrolle mit dem mitgelieferten Schichtdickenregler MTM-20
- Motorisierter Planeten-Dreh-Kipp-(R-P-T) Tisch für gleichmäßige und konforme Beschichtung
- Ø150 mm praktische Kammer ermöglicht optimale Konfigurationen
- Ölfreies Pumpsystem mit Turbo-/Membranpumpenkombination
Die Merkmale und Vorteile des hochauflösenden Sputter-Coaters 208HRD sind:
Hochauflösende Turbo Sputter Coater |
208 HRD |
Artikel Nr. |
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Hochauflösende Sputterkopf |
Cooles Planar-Magnetron, Rundum-Dunkelraumabschirmung |
Target Abmessungen |
Ø28 x 0,2 bis 3,2 mm Dicke |
Target Materialien |
Cr, Pt/Pd, Ir, W, Pt, Au, Au/Pd, Pd und mehr – siehe vollständige Liste |
Rezipienten Grösse |
Ø165 x 150mm mit teleskopischer Höhenverstellung, |
Sputter Versorgung |
Mikroprozessorgesteuert, Sicherheitsverriegelung, vakuumunabhängige |
Kontrollparameter |
Automatische Zyklusfunktion, manuelle Steuerung |
Analog-Anzeige |
Vakuum: Atm – 0,001mBar |
Schichtdicken-Kontrollsystem |
MTM-20 inklusive + Crystalkopf auf R-P-T Probentisch |
Probentisch |
Motorized R-P-T stage with manual tilt -90 to + 90 degrees |
Hochvakuum Turbopumpe |
ISO63 / 67 l/s HiPace 80 |
Vorvakuumpumpe |
MVP020 Oilfreie Membranpumpe |
Pumpzeit |
4 x 10-5 mbar in 10 Minuten |
Endvakuum |
8 x 10-6 mbar |
Vakuummessgerät |
Pirani |
Abmessungen |
60 x 60 x 36 cm |
Gewicht inkl. Pumpen |
40 kg |
Leistung |
230v / 50 Hz / 550W |
Angebots-Informationen zu Cressington 208HRD hochauflösenden Turbo Sputter Coater
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Bestellinformationen für 2e Glass-Rezipienten und Probenhalter des R-P-T Probentisches für Cresisngton 208HRD
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Bestellinformationen zu Verbrauchsmaterial für den Cressington 208HRD Turbo Sputter Coater
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Bestellinformationen zu Ø28mm Target für den Cressington 208HRD Turbo Sputter Coater
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