Nano-Tec platinbeschichte Silizium- und Glas-Substrate
Platinbeschichtete Silizium-Wafer &i- chips oder Obkektträger aus Borosilikatglas


Einleitung
Nano-Tec platinbeschichter Silizium Wafer, Ø 4 Zoll / 100 mm, 525 µm dick, 100 nm Al
Nano-Tec platinbeschichte Deckgläschen, 22 x 22 x 0,2 mm, 100 nm Al
Nano-Tec platinbeschichter Objektträger, 75 x 25 x 1 mm, 100 nm Al

Die platinbeschichteten Substrate sind als 4"/100mm-Siliziumwafer, 10 x 10 mm-Si-Chips, Objektträg und Deckgläschen ererhältlich, die mit 100nm reinem Platin (99,99%) beschichtet sind. Sie sind nützlich für Dünnschichtforschung, MEMS, Sensortechnologie, Nanotechnologie und Biotechnologie. Platinbeschichtungen weisen eine hohe Leitfähigkeit, einen hohen Korrosionwiederstand und eine starke Haftung auf. Als Adhäsionsschicht wird Titan benützt. Sowohl Titan- als auch Platin-Schicht werden in einer speziellen Hochvakuum-Beschichtungsanlage mit einer Elektronenstrahlquelle abgeschieden. Die Platinbeschichtung ist nicht atomar flach; es gibt Höhenunterschiede im nm-Bereich. Zum Schutz werden die Wafer in Wafer-Transportschalen, die Objektträger in Objektträger-Versandtaschen und die Si-Chips und Deckgläschen in Gel-Pak-Boxen verpackt.


Spezifikationen der Nano-Tec platinbeschichteten Substrate:

Platinbeschichtung

100 nm Pt (99.99% Reinheit)

Titan Adhäsionfilm

5 nm Ti (99.99% Reinheit)

Oberflächerauheit

einige nm

Substrat

Silizium wafer

Si Chips

Objektträger

Deckgläschen

Größe

Ø 4” / 100 mm

10 x 10 mm

75 x 25 mm

22 x 22 mm

Dicke

525 µm (+/- 20 µm

1 mm

0,2 mm

Art

P (Bor) -  <100> - 1-30 Ohm/cm

Borofloat 33 – Borosilikat Glas



Bestellinformationen zu Nano-Tec platinbeschichtete Substrate

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Nano-Tec platinbeschichte Silizium Chips, 10 x 10 mm, 525 µm dick, 100 nm Pt Nano-Tec platinbeschichte Silizium Chips, 10 x 10 mm, 525 µm dick, 100 nm Pt
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10-PT8119-20 Pack/20 €475,00
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Nano-Tec platinbeschichteter Silizium Wafer, Ø 4 Zoll / 100 mm, 525 µm dick, 100 nm Pt Nano-Tec platinbeschichteter Silizium Wafer, Ø 4 Zoll / 100 mm, 525 µm dick, 100 nm Pt
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10-PT8142-1 Stück €345,00
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Nano-Tec platinbeschichterer Objektträger, 75 x 25 x 1 mm, 100 nm Pt Nano-Tec platinbeschichterer Objektträger, 75 x 25 x 1 mm, 100 nm Pt
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10-PT8633-5 Pack/5 €500,00
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Nano-Tec platinbeschichtetes Deckgläschen, 22 x 22 x 0,2 mm, 100 nm Pt Nano-Tec platinbeschichtetes Deckgläschen, 22 x 22 x 0,2 mm, 100 nm Pt
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10-PT8624-20 Pkg/20 €1035,00
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