EM-Tec Schachbrett-Kalibrierungsstandard für die SEM-Bildgebung
schnelle und einfache Kalibrierung der Vollbildvergrößerung



EM-Tec Schachbrett-Kalibrierungsstandard für die SEM-Bildgebung

Einleitung

Der EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard wurde für die schnelle und einfache Vergrößerungs- und Bildkalibrierung von REMs und Kompakt-REMs entwickelt. Er besteht aus über 1,6 Millionen Quadraten, die 4 Stufen von Schachbrettmustern bilden. Das kleinste Schachbrett ist 10 x 10 um groß. Diese kleinsten Schachbrettmuster bilden dann ein Muster von 100 x 100 um und diese wiederum bilden Schachbrettmuster von 1 x 1 mm. Die 1 x 1 mm großen Schachbretter bilden dann ein 5 x 5 mm großes Muster.
Die kleinsten 1 x 1 um Quadrate werden mit 60 nm dickem Chrom auf einem ultraflachen, leitfähigen, mit Bor dotierten <100> Siliziumsubstrat hergestellt. Diese Materialien gelten unter normalen Arbeitsbedingungen als inert. Der Abbildungskontrast ist sowohl bei SE- als auch bei BSE-Abbildungen gut. Der EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard eignet sich für die Kalibrierung von REM-Vergrößerungen im Bereich von 20x bis 50.000x mit einer Abstandgenauigkeit von ± 0,1% in X- und Y-Richtung. Auch nützlich für die Überprüfung von Bildverzerrungen und der Genauigkeit von (motorisierten) REM-Tischen.
Der EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard ist NIST-rückführbar. Beispiel für ein Rückführbarkeitszertifikat auf Wafer-Ebene, das mit jedem EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard geliefert wird.


Merkmale des EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandards

  • Schnelle und einfache Vergrößerungskalibrierung und Bildkontrolle
  • Merkmalgrößen: 1 mm, 100 um, 10 um und 1 um
  • Teilungsgenauigkeit ± 0,1% in X- und Y-Richtung
  • Ideal für SEM und Kompakt-SEM
  • NIST-rückführbar
  • Großes 5 x 5 mm Schachbrettmuster
  • Die Größe beträgt 6 x 6 mm mit einer Dicke von 675 um
  • Substrat B-dotiertes <100> Silizium mit 5-10 Ohm-cm Widerstand
  • Muster aus 60nm dickem Chrom
  • Langlebige Konstruktion mit praktisch inerten Materialien

Der EM-Tec EDX-Schachbrett-Kalibrierstandard ist sowohl unmontiert als auch montiert auf den gängigen SEM-Stümpfen erhältlich.


EM-Tec Schachbrett-Kalibrierungsstandard für die SEM-Bildgebung
Helle Cr-Quadrate des -1um-Schachbrettmusters im SE-Bild
Linienprofil der SE-Signalintensität, das die scharfen Kanten der 1-Um-Quadrate deutlich zeigt


Bestellinformationen zu EM-Tec Schachbrett-Kalibrierungsstandard für die SEM-Bildgebung

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
31-T37000-U EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard, nicht montiert
Qty:

Stück €585,00
31-T37000-1 EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard, auf Ø12,7 mm Standard Stiftprobenteller
Qty:

Stück €595,00
31-T37000-2 EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard, auf Ø12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller
Qty:

Stück €595,00
31-T37000-6 EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard, auf Ø12,2 mm JEOL Probenteller
Qty:

Stück €612,50
31-T37000-8 EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard, auf Ø15 mm Hitachi M4 Probenteller
Qty:

Stück €595,00

 



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