Mit Aluminiumoxid beschichtete Bedampfungsquellen
EM-Tec TEM Netzchen
Value-Tec TEM Netzchens
EM-Tec hochpräzise, paramagnetische Pinzetten
Mit Aluminiumoxid beschichtete Bedampfungsquellen
hocheffiziente, kleine, tiegelförmige Verdampferkörbe
Einleitung
Die mit Aluminiumoxid beschichteten Verdampferkörbe haben ein neuartiges Design. Sie kombinieren die Vorteile eines normalen Verdampferkorbs mit einem Tiegel aus Aluminiumoxid. Resultat ist eine Auswahl an Tiegel aus Aluminiumoxid mit hocheffizienter Heizcharakteristik. Der mit Aluminiumoxid beschichtete Verdampferkorb formt eine Einfassung, um das geschmolzene Material zu halten. Die Leistung die zur Erwärmung dieses Typs von Evaporation Source benötigt wird, ist relativ gering, wodurch die Verdampferkörbe auch mit leistungsschwächeren Quellen betrieben werden können. Die kleine Größe der Verdampferkörbe reduziert die Kosten des zu verdampfenden Materials. Sie sind sehr hilfreich in der Dünnschichtforschung, bei Qualifizierungsexperimenten, in der Physik, bei optischen Beschichtungen und bei Vertigungsanwendungen.
Die mit Aluminiumoxid beschichteten Verdampferkörbe haben folgende Vorteile:
- Aufwärts gerichtete Verdampfung mit hervorragendem Profil
- Einfache Befestigung in Standardhaltern
- Hohe Verdampfungsraten
- Lange Lebenszeit (Aluminiumoxid widersteht der Erosion durch geschmolzene Metalle)
- Kompatibel mit kleinen und mittleren Leistungsversorgern
- Einsetzbar bei schwer zu handhabenden Materialien wie Nickel und Eisenlegierungen
- Auswahl an sechs verschiedenen Größen, um alle Anforderungen zu erfüllen
Empfohlen für Verdampermaterialien:
| Nickel | Zinn | Kupfer | Nickelchrom |
| Eisen | Antimon | Kobalt | Permalloy |
| Gold | Wismut | Manganese | |
| Silber | Kadmium | Palladium | |
| Indium | Blei | Zink |
Es gibt sechs verschiedene Aluminiumoxid beschichtete Verdampferkörbe (siehe Tabelle unten). Der Leistungsbedarf bezieht sich auf eine Temperatur von 1475°C. Die maximale Temperatur der Aluminiumoxid beschichteten Verdampferkörbe sollte 1800°C nicht übersteigen. Es wird empfohlen die Leistung allmählich anzuheben bzw. abzusenken, um Temperaturschocks zu vermeiden.
Die meisten Aluminiumoxid beschichteten Evaporation Sources sind kompatibel mit 100 mm / 4" Haltern, die weitgehend Standard sind. Die die Aluminiumoxidschicht sehr spröde und brüchig ist und leicht beschädigt werden kann, wird davon abgeraten, die "Beine" zu kürzen.
Spezifikationen und Maße von mit Aluminiumoxid beschichteten Verdampferkörben
| Product # | Type | Volume cm3 | Length mm |
Height mm |
TOP ID mm |
Inside H mm |
Wire Ø mm |
Volts | Amps | Watts | Temp °C |
A1 |
0.04 |
102 |
9.5 |
5.0 |
5.7 |
0.51 |
5.70 |
11 |
63 |
1475 |
|
A2 |
0.21 |
102 |
12.7 |
8.9 |
8.9 |
1.02 |
6.20 |
40 |
248 |
1475 |
|
A3 |
0.32 |
102 |
14.6 |
10.6 |
10.8 |
1.02 |
6.90 |
39 |
272 |
1475 |
|
A4 |
1.9 |
83 |
22.2 |
20.0 |
18.4 |
1.02 |
13.00 |
33 |
429 |
1475 |
|
A5 |
0.83 |
102 |
23.5 |
12.7 |
19.7 |
1.27 |
7.00 |
50 |
350 |
1475 |
|
A6 |
3.35 |
102 |
28.6 |
22.8 |
24.8 |
1.52 |
15.80 |
49 |
768 |
1475 |
Bestellinformationen zu mit Aluminiumoxid beschichteten Verdampferkörben
|
|
|
|
|
|