Mit Aluminiumoxid beschichtete Bedampfungsquellen
hocheffiziente, kleine, tiegelförmige Verdampferkörbe


Einleitung

    Mit Aluminiumoxid beschichtete Verdampferkörbe

Die mit Aluminiumoxid beschichteten Verdampferkörbe haben ein neuartiges Design. Sie kombinieren die Vorteile eines normalen Verdampferkorbs mit einem Tiegel aus Aluminiumoxid. Resultat ist eine Auswahl an Tiegel aus Aluminiumoxid mit hocheffizienter Heizcharakteristik. Der mit Aluminiumoxid beschichtete Verdampferkorb formt eine Einfassung, um das geschmolzene Material zu halten. Die Leistung die zur Erwärmung dieses Typs von Evaporation Source benötigt wird, ist relativ gering, wodurch die Verdampferkörbe auch mit leistungsschwächeren Quellen betrieben werden können. Die kleine Größe der Verdampferkörbe reduziert die Kosten des zu verdampfenden Materials. Sie sind sehr hilfreich in der Dünnschichtforschung, bei Qualifizierungsexperimenten, in der Physik, bei optischen Beschichtungen und bei Vertigungsanwendungen.

Die mit Aluminiumoxid beschichteten Verdampferkörbe haben folgende Vorteile:

  • Aufwärts gerichtete Verdampfung mit hervorragendem Profil
  • Einfache Befestigung in Standardhaltern
  • Hohe Verdampfungsraten
  • Lange Lebenszeit (Aluminiumoxid widersteht der Erosion durch geschmolzene Metalle)
  • Kompatibel mit kleinen und mittleren Leistungsversorgern
  • Einsetzbar bei schwer zu handhabenden Materialien wie Nickel und Eisenlegierungen
  • Auswahl an sechs verschiedenen Größen, um alle Anforderungen zu erfüllen


Empfohlen für Verdampermaterialien:

Nickel  Zinn Kupfer Nickelchrom
Eisen Antimon Kobalt  Permalloy
Gold  Wismut  Manganese  
Silber   Kadmium  Palladium  
Indium  Blei  Zink  

Es gibt sechs verschiedene Aluminiumoxid beschichtete Verdampferkörbe (siehe Tabelle unten). Der Leistungsbedarf bezieht sich auf eine Temperatur von 1475°C. Die maximale Temperatur der Aluminiumoxid beschichteten Verdampferkörbe sollte 1800°C nicht übersteigen. Es wird empfohlen die Leistung allmählich anzuheben bzw. abzusenken, um Temperaturschocks zu vermeiden.
Die meisten Aluminiumoxid beschichteten Evaporation Sources sind kompatibel mit 100 mm / 4" Haltern, die weitgehend Standard sind. Die die Aluminiumoxidschicht sehr spröde und brüchig ist und leicht beschädigt werden kann, wird davon abgeraten, die "Beine" zu kürzen.


Spezifikationen und Maße von mit Aluminiumoxid beschichteten Verdampferkörben

Product #

Type

Volume cm3

Length
mm

Height
mm

TOP ID
mm

Inside H
mm

Wire Ø
mm

Volts

Amps

Watts

Temp
°C

72-AO2010

A1

0.04

102

9.5

5.0

5.7

0.51

5.70

11

63

1475

72-AO4020

A2

0.21

102

12.7

8.9

8.9

1.02

6.20

40

248

1475

72-AO4030

A3

0.32

102

14.6

10.6

10.8

1.02

6.90

39

272

1475

72-AO4040

A4

1.9

83

22.2

20.0

18.4

1.02

13.00

33

429

1475

72-AO5050

A5

0.83

102

23.5

12.7

19.7

1.27

7.00

50

350

1475

72-AO5060

A6

3.35

102

28.6

22.8

24.8

1.52

15.80

49

768

1475



Bestellinformationen zu mit Aluminiumoxid beschichteten Verdampferkörben

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A1, 0,02 ccm, 63 Watt Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A1, 0,02 ccm, 63 Watt
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
72-AO2010 Stück €86,30
Qty:

 

Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A2, 0,2 ccm, 248 Watt Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A2, 0,2 ccm, 248 Watt
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
72-AO4020 Stück €125,40
Qty:

 

Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A3, 0,3 ccm, 272 Watt Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A3, 0,3 ccm, 272 Watt
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
72-AO4030 Stück €136,10
Qty:

 

Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A4, 1,9 ccm, 429 Watt Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A4, 1,9 ccm, 429 Watt
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
72-AO4040 Stück €223,70
Qty:

 

Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A5, 0,8 ccm, 350 Watt Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A5, 0,8 ccm, 350 Watt
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
72-AO5050 Stück €155,60
Qty:

 

Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A6, 3,4 ccm, 768 Watt Bedampfungsquelle, beschichtet mit Aluminiumoxid, Typ A6, 3,4 ccm, 768 Watt
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
72-AO5060 Stück €236,30
Qty:

 



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