EM-Tec Quarzkristalle für Schichtdickenmessgeräte
EM-Tec Quarzkristalle für Schichtdickenmessgeräte
Die EM-Tec Quarz-Kristalle sind besonders geeignet für Schichtdickenmessgeräte, Schichtdickenkontrollgeräte und Quarzkristall-Mikrowaagen (QKM), die zusammen mit REM Sputter Coatern, EM Kohlebedampfungsanlagen oder Vakuumbeschichtungssystemen eingesetzt werden. Die Kristallform ist plano-konvex. Es stehen zwei Typen zu Verfügung:
- Häufig genützte 6 MHz Quarzkristalle mit einem Durchmesser von 14,0 mm (0,55”). Diese EM-Tec Quarze sind völlig kompatibel mit Systemen, die einen 6 MHz Sensor verwenden.
- Kleinere 5 MHz Quarzkristalle mit einem Durchmesser von 12,5mm (0,49“). Diese EM-Tec Quarze sind kompatible mit Systemen, die einen 5 MHz Sensor verwenden.
Ideal für Schichtdickenmessgeräte, die mit Sputter Coatern, Kohlebedampfungsgeräten und Vakuum-Beschichtungssystemen von Cressington, Agar, Bal-Tec, Denton, Emitec, Edwards, JEOL, Leica, Polaron, Quorum und Safe-Matic verwendet werden. Die EM-Tec Quarzkristalle werden in Einheiten von 10 Stück in einer flachen Karussellverpackung geliefert.
Es stehen zwei unterschiedliche Kontaktbeschichtungen des Quarzkristalle zu Verfügung:
- Gold-Kontakte als Standard und geeignet für Materialien mit spannungsarmen Schichten, wie: Gold, Silber, Palladium, Gold/Palladium, Platin/Palladium, Kupfer
- Silber-Kontakte sind geeignet für Beschichtungsmaterialien mit hoher Spannung, wie: Chrom, Nickel, Platin, Iridium, Kohlenstoff.
Spezifikationen der EM-Tec Quarzkristalle
Artikel-Nr. |
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Frequenz |
6 MHz |
5 MHz |
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Kristallform |
Plano-konvex |
Plano-konvex |
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Substratmaterial |
Quarz |
Quarz |
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Kontakte |
Gold |
Silber |
Gold |
Silber |
Durchmesser |
14,0 mm / 0,55” |
12,5 mm / 0,49” |
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Stärke |
0,27 mm |
0,27 mm |
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Verpackung |
Karussell / 10 |
Karussell / 10 |
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Anwendung |
Spannungsarme Beschichtung |
Beschichtung mit hoher Spannung |
Spannungsarme Beschichtung |
Beschichtung mit hoher Spannung |
EM-Tec Auswahltabelle für Quarzkristalle für Schichtdickenmessgeräte
Herstellername |
6Mz / 14 mm FTM Quarzkristalle |
5 Mhz / 12.5 mm FTM Quarzkristalle |
AGAR Coaters |
X |
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BAL-TEC QSG100 |
X |
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Cressington 108/208/308 |
X |
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Emitech K series |
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X |
JEOL 1200 & 1300 series |
X |
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Leica Coaters |
X |
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Ältere Polaron/Bio-rad/Fison/Thermo |
X |
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Quorum Coaters |
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X |
Safematic |
X |
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SPI modular coater (older) |
X |
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Bestellangaben zu den EM-Tec 6 MHz / 14,0 mm Quarzkristallen für Schichtdickenmessgeräte
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