Einleitung
Die REM Sputter Coater der GSEM G-Serie stellen eine neue Generation von sehr effizienten und einfach zu bedienenden Kompaktbeschichtungsanlagen dar, die kein Argon-Prozessgas benötigen. Die Systeme verwenden entweder ein Gold- oder ein Platin-Target. Der REM Sputter Coater erzeugt ein Plasma, um nichtleitende oder nur schwach leitende Proben mit Gold oder Platin zu beschichten und so die Oberfläche leitfähig zu machen, was eine kontrastreiche Abbildung und EDS-Analyse im REM ermöglicht. Die Beschichtungsanlagen sind kosteneffizient und zeichnen sich durch kurze Zykluszeiten und leicht austauschbare 50-mm-Scheibentargets aus. Die verfügbaren GSEM-Beschichter sind:
GSEM G20 vielseitiger vollautomatischer Sputter Coater mit voller Parametersteuerung
Das GSEM G20 ist ein vielseitiger REM Sputter Coater, der über seinen 7"-Touchscreen eine Beschichtungskontrolle, eine einfache Bedienung und eine Beschichtungsbibliothek bietet. Aufgrund seiner kompakten Größe, der kleineren Targetgröße und dem Verzicht auf Argon Prozessgas hat dieser vielseitige Beschichter niedrige Betriebskosten. Die Steuerungsparameter sind Zeit, Sputterstrom und selektive Plasmaunterbrechung (unterbricht die Beschichtung pro 10-Sekunden-Intervallen), um eine Erwärmung der Probe zu vermeiden. Mit der Kontrolle über diese Beschichtungsparameter hat der Benutzer die volle Kontrolle über die gewünschte Schichtdicke. Mit der Bibliotheksfunktion können die Beschichtungsparameter für 10 verschiedene Verfahren gespeichert werden; es handelt sich um einen wirklich vielseitigen, automatischen REM Sputter Coater. Der höhenverstellbare Probentisch bietet Platz für 7 StandardØ12,7 mm Stiftprobenteller oder 7 JEOL Ø12,5 mm Probenteller oder 7 Hitachi Ø15 mm REM-Probenteller oder für größere Proben wie metallographische Einbettungen. Der vielseitige G20 REM Sputter Coater verwendet einen effizienten planaren DC-Magnetron-Sputterkopf mit einer Niederspannungs-Plasmaentladung, was zu einem kühlen Sputterprozess führt. Der G20 REM Sputter Coater wurde für Standard-SEM/EDS-Anwendungen und für Labore mit einer Vielzahl unterschiedlicher Proben entwickelt.
Die wichtigsten Merkmale des GSEM G20 Sputter Coaters sind:
Spezifikationen des vielseitigen automatischen SEM-Sputterbeschichters GSEM G20:
Target Durchmesser / Type |
Ø50 mm / Scheibenform |
Target Material |
Gold oder Platin (Au Ø50 x 0.1 mm Standard) |
Probentisch |
Ø50 mm für 7 Probenteller, 30mm Höheverstellung |
Rezipientengrösse (D x H) |
Ø140 x 100 mm |
Sputterzeit |
1 to 600 Sekunden (1 Sekunde-Schritte) |
Ionen-Sputterstrom |
1 to 10 mA (1mA-Schritte) |
Vakuum / Prozessgas |
0.26 mbar / Restluft |
Betriebskontrolle |
7” Touchscreen |
Bibliotheksfunktion |
Speichert die Parameter bis zu 10 Verfahren |
Selektive Plasmaoption |
0 to 10 (1 Sek/Schritt) Unterbricht Beschichtung pro 10 Sekunden-Intervallen |
Anschluss der Vakuumpumpe |
KF16 |
Grösse (BxTxH) / Gewicht |
380 x 240 x 250 mm / 10 kg |
Vakuumpumpe |
Value VRI-4, zwei-stufig, 4m3/hr |
Zubehör |
Vakuumschlauch, KF16 Bauteile, Kabel, Au Target, Anleitung (auf English) |
GSEM G10 einfach zu bedienender vollautomatischer, schneller und effizienter Sputter Coater
Der GSEM G10 Cool Sputter Coater wurde für Tisch-REMs oder Kompakt-REMs und für Labore mit hohem Durchsatz entwickelt. Mit seiner geringen Stellfläche und dem Verzicht auf Argon Prozessgas nimmt der G10-Beschichter nur wenig Platz in einem REM-Labor ein. Die Bedienung wird durch den vollautomatischen Betrieb vereinfacht, der Bediener muss nur zwischen 3 Beschichtungszeiten = Schichtdicke wählen; es ist wirklich ein sehr einfacher Sputter Coater. Der feste Probentisch bietet Platz für 7 Standard Ø12,7mmStiftprobenteller, 7 JEOLØ12,5mm Probenteller oder 7 HitachiØ15mm REM-Probenteller. Der G10 SEM Sputter Coater verwendet ein planares Magnetron-Design mit einer AC-Niederspannungs-Plasmaentladung, die zu einer kühlen Sputter-Beschichtungsmethode führt. Ein effizientes Plasma bei niedrigem Vakuum gewährleistet eine homogene Beschichtung ohne Probenbeschädigung. Die durchschnittliche Nutzung des Targets wird auf etwa 500 Beschichtungszyklen geschätzt.
Die wichtigsten Merkmale des GSEM G10 Sputter Coaters sind:
Spezifikationen des schnellen und einfachen REM Sputter Coaters GSEM G10:
Target Durchmesser / Type | Ø50 mm / Scheibenform |
Target Material |
Gold oder Platin (Au Ø50 x 0.1 mm Standard) |
Probentisch |
Ø50 mm, fixiert mit herausnehmbarem Halter für 7 Stiftprobenteller |
Rezipientgrösse (D x H) |
Ø140 x 70 mm |
Sputterzeit |
20, 40 oder 60 Sekunden |
Ionen-Sputterstrom |
Fixiert auf 38 mA |
Vakuum / Prozessgas |
Niedriges Vakuum / Restluft |
Betriebskontrolle |
4 Drucktasten (Start + 3 x Zeit) |
Anschluss der Vakuumpumpe |
Ø16 mm Vakuumschlauch |
Grösse (BxTxH) / Gewicht |
380 x 240 x 235 mm / 10 kg |
Vakuumpumpe |
Value VRI-2, zwei-stufig, 2m3/hr |
Zubehör |
Vakuumschlauch, KF16 Bauteile, Kabel, Au Target, Anleitung (auf English) |
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